崗位職責:
1、負責光刻產品的工藝調試及分辨率、套刻精度等指標測試,同時完成在用戶端使用過程中出現的問題的記錄、反饋工作;
2、負責執行具體圖形的光刻打樣實驗工作,做FEM實驗并測量顯影后圖形參數以找出最佳曝光能量和聚焦值;使用FEM數據做工藝窗口分析,輸出光刻打樣實驗報告;
3、通過自動化平臺測試獲得所監控的顯影后圖形的工藝參數,并對測試數據進行統計分析以評估設備的工藝穩定性;
4、負責光刻實驗平臺的持續建設、維護與管理,光刻膠材料選型與評估等相關工作;
5、與相關人員緊密協作,配合完成光刻實驗工作。
崗位要求:
1、熟悉光刻工藝流程及光刻設備結構、工作原理和操作方法等;
2、熟悉光學膜厚儀、3D光學顯微鏡、掃描電鏡等常用光刻工藝參數測量、形貌觀察設備及測量表征方法;
3、具備實驗設計和數據統計處理能力。
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1、負責光刻產品的工藝調試及分辨率、套刻精度等指標測試,同時完成在用戶端使用過程中出現的問題的記錄、反饋工作;
2、負責執行具體圖形的光刻打樣實驗工作,做FEM實驗并測量顯影后圖形參數以找出最佳曝光能量和聚焦值;使用FEM數據做工藝窗口分析,輸出光刻打樣實驗報告;
3、通過自動化平臺測試獲得所監控的顯影后圖形的工藝參數,并對測試數據進行統計分析以評估設備的工藝穩定性;
4、負責光刻實驗平臺的持續建設、維護與管理,光刻膠材料選型與評估等相關工作;
5、與相關人員緊密協作,配合完成光刻實驗工作。
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3、具備實驗設計和數據統計處理能力。
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